潔凈室的冷熱源機(jī)組:a

潔凈室的冷熱源機(jī)組： a.電驅(qū)動(dòng)的壓縮式制冷機(jī) 電驅(qū)動(dòng)的壓縮式制冷機(jī)主要以氟里昂、氨為制冷劑，民用制冷機(jī)大部分采用氟里昂作為制冷劑。按冷卻介質(zhì)的種類可分為空氣冷卻和水冷卻兩種形式，按壓縮機(jī)種類可分為活塞式、螺桿式、離心式三種形式，按提供的冷源或熱源情況可分為冷水機(jī)組和熱泵機(jī)組兩種形式。 b、活塞式冷水機(jī)組 活塞式冷水機(jī)組由活塞式制冷壓縮機(jī)、風(fēng)冷式或水冷式冷凝器、熱力膨脹閥和蒸發(fā)器等組成，并配有自動(dòng)或手動(dòng)能量調(diào)節(jié)和自動(dòng)安全保護(hù)裝置，常用的水冷活塞式冷水機(jī)組冷凝器進(jìn)出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，冷量范圍一般為35～580kW。

凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管的安裝

安裝條件 對凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管的安裝，應(yīng)在建筑物內(nèi)部安裝部的地面做好，墻面已抹灰完畢室內(nèi) 無塵土飛揚(yáng)，或有防塵措施的條件下進(jìn)行。 檢查現(xiàn)場結(jié)構(gòu)預(yù)留孔洞的尺寸、位置是符合圖紙要求，有無遺漏現(xiàn)象，預(yù)留的孔洞應(yīng)比風(fēng)管實(shí)際截面尺寸大于10mm。 作業(yè)地點(diǎn)要有相應(yīng)的輔助設(shè)施，比熱梯子、架子及電源和安全設(shè)置、消防器材。 使風(fēng)管、附件及成品及半成品，應(yīng)有出廠合格證。 風(fēng)管支吊架安裝前必須進(jìn)行防腐處理。 風(fēng)管安裝應(yīng)按設(shè)計(jì)圖，并有施工技術(shù)、質(zhì)量、安全交底。

潔凈工作臺

潔凈工作臺分為垂直流工作臺和水平流工作臺兩種，潔凈工作臺是改善工藝條件、確保潔凈潔度的凈化設(shè)備之一，廣泛應(yīng)用于局部要求潔凈度較高生產(chǎn)的區(qū)域，如：實(shí)驗(yàn)室、生物制藥、醫(yī)院、LED光電、線路板、微電子、硬盤制造、食品加工等領(lǐng)域。 潔凈工作臺特點(diǎn)： 1、潔凈工作臺采用超薄型無隔板過濾器, 過濾效率靜態(tài)百級。 2、工作臺配離心風(fēng)機(jī)，具有長壽命、低噪聲、免維護(hù)、震動(dòng)小。 3、超凈工作臺采用可調(diào)送風(fēng)系統(tǒng),旋鈕型無級調(diào)節(jié)風(fēng)速與LED控制開關(guān)可選配4、凈化工作臺配大風(fēng)量粗效過濾器, 方便拆卸、更好地保護(hù)過濾器,確保潔凈度。 5、靜態(tài)百級工作臺可根據(jù)工藝要求，可單臺使用，也可將多臺組成100級超凈生產(chǎn)線。 6、潔凈工作臺可選配裝壓差表，明確指示過濾器兩側(cè)的壓差，以便提醒更換過濾器。 7、超凈工作臺有多種規(guī)格，可根據(jù)生產(chǎn)需求非標(biāo)訂做。

潔凈室中的溫濕度控制

潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。 具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。 濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45%。 潔凈室中的氣壓規(guī)定 對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則： 1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。 3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。 壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。