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發(fā)布時(shí)間:2020-12-30 10:56  
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凈化工程中的標(biāo)準(zhǔn)氣壓要求
針對(duì)絕大多數(shù)清潔空間,以便避免外部環(huán)境污染,必須維持內(nèi)部的壓力(負(fù)壓)高于外界的壓力(負(fù)壓)。壓力差的保持一般應(yīng)合乎下列標(biāo)準(zhǔn):
1.清潔空間的壓力要高于非清潔空間的壓力。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于鄰近的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
3.互通凈化室中間的門要開向潔凈度級(jí)別高的屋子。
壓力差的保持借助排風(fēng)量,這一排風(fēng)量要能賠償在這里一壓力差下從間隙漏泄掉的排風(fēng)量。因此壓力差的物理意義便是漏泄(或滲入)排風(fēng)量根據(jù)凈化室的各種各樣間隙時(shí)的摩擦阻力。
相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。我們國(guó)家的空氣分子控制等的技術(shù)正在朝有利的方向發(fā)展,這項(xiàng)技術(shù)原先是由日本發(fā)展起來(lái)的,現(xiàn)在已經(jīng)受到了全世界的關(guān)注和認(rèn)可,在我們國(guó)家,這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)受到了相關(guān)行業(yè)的重視并且投入研發(fā),相信在不久的未來(lái),我們國(guó)家的相關(guān)科研人員一定會(huì)在這個(gè)領(lǐng)域取得讓人滿意的成績(jī),為我們國(guó)家的凈化工程行業(yè)做出貢獻(xiàn)。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來(lái)越高,非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會(huì)逐漸應(yīng)用于家庭、公共場(chǎng)合,為人們提供更潔凈的生活空間
