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發(fā)布時間:2020-12-30 17:48  
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PLD450型脈沖激光鍍膜介紹
沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業(yè)脈沖激光沉積供應商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?
主要用途:
用于制備超導薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備?! ?
系統(tǒng)組成:
主要由濺射真空室、旋轉靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。