光波超精密——大理石氣浮導軌

閉式靜壓導軌的特點是：

能承受正、反向載荷，超精密大理石氣浮導軌，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強；

氣膜的剛度較高，因此對于導軌本身結(jié)構(gòu)的剛度要求也較高；

(3)導軌的制作和調(diào)整較為復雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導軌一般采用不等面積氣腔結(jié)構(gòu)。

根據(jù)安裝特點，氣浮導軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預(yù)載式。

光波超精密空氣導軌——大理石氣浮導軌

節(jié)流器的選擇和設(shè)計是氣浮導軌設(shè)計的關(guān)鍵。風門型式對氣動導軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節(jié)流器類型以小孔節(jié)流、環(huán)面節(jié)流和狹縫節(jié)流形式應(yīng)用zui多；多孔質(zhì)和環(huán)面淺腔節(jié)流是兩種較新的節(jié)流形式，具有承載能力高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，超精密機床大理石氣浮導軌，但對多孔質(zhì)節(jié)流器而言，其節(jié)流特性主要受滲透系數(shù)的影響，而滲透系數(shù)主要由多孔質(zhì)材料自身的特性決定，因此，其具體數(shù)值難以確定。環(huán)面式淺腔節(jié)流設(shè)計時，淺腔結(jié)構(gòu)的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節(jié)流器的應(yīng)用。剩下的節(jié)流形式，在實際中很少使用。

光波超精密——大理石氣浮導軌

在移動部件與導軌接觸面相對的一側(cè)放置斜鐵是zui常用的調(diào)節(jié)方法。圓錐條狀塊狀鐵塊。若滑動件或?qū)к壞p，接觸面之間產(chǎn)生間隙，可通過調(diào)整傾斜鐵片，精i確補償導軌，消除運動件與導軌之間的間隙。

機床廠已開發(fā)出斜鐵自動調(diào)節(jié)的專利技術(shù)，并被廣泛采用。這種技術(shù)的基本原理是使斜鐵保持一個固定的彈簧壓力，一旦移動部件或?qū)к壪到y(tǒng)磨損，斜鐵就能自動消除間隙。

滾動式導向是一種直線導向。滾動式直線滑軌是一種滾動式導軌，它由鋼i珠在滑塊和滑軌之間無限滾動，使負載平臺在滑軌上可以輕松地進行高精度的直線運動，其摩擦系數(shù)可降低到傳統(tǒng)滾動式導引的1/50，從而可以輕松地達到微米定位精度。

滾動式軌道的優(yōu)點

靈敏度高，其動摩擦因數(shù)與靜摩擦因數(shù)相差很小，因而運動平穩(wěn)，棗莊大理石氣浮導軌，在低速運動時不易發(fā)生爬行。

定位精度較高，重復定位的精度可以達到0.2微米。

摩擦阻力小，移動輕，磨損小，保持精度高。

滾動式導軌特別適用于要求機床工作部件運動均勻、運動靈敏、定位準確的場合。

光波超精密技術(shù)研究院——大理石氣浮導軌

滾動式軌道分類

采用滾珠為滾動體，運動靈敏度好，定位準確；但其承載能力和剛度較小，一般通過預(yù)緊法來提高承載能力和剛度。為避免因?qū)к壈枷菀鸬木葥p失，一般采用淬火鋼制作導軌表面。對于運動部件質(zhì)量不大、切削力不大的數(shù)控機床，采用滾珠導軌。

其承載能力和剛度均大于滾珠導軌，但對其安裝要求較高。不好的安裝方式會導致導軌的偏移和側(cè)滑，加速磨損，降低精度。當前，數(shù)控機床，尤其是大負荷機床，普遍采用滾柱導軌。

光波超精密——大理石氣浮導軌

氣浮導軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導軌：這種形式的導軌，由于工作臺導軌面變形較小，可以達到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機床和測量儀器等設(shè)備的長導軌。

重量平衡式導軌：此結(jié)構(gòu)導軌的圓度、圓筒度和導孔間距等精度完全由機械加工確定，全部載荷由導柱承擔，易發(fā)生變形，故除垂直導軌外，多用于輕載荷、短導軌。

真空負壓平衡式導軌：該導軌結(jié)構(gòu)簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負荷變化小的場合。

光波超精密——大理石氣浮導軌

真空負壓平衡式導軌：該導軌與重量平衡式導軌是同一種類型，適用于工作臺重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負壓和靜壓的同時，由固定的導軌間隙維持。

線性導軌主要有以下幾種類型

一、滑動(動壓力)導向器。

二是靜壓導軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導軌(氣浮導軌)和液體靜壓導軌。

三、滾動導軌，因滾動體不同而分為滾珠導軌和滾柱導軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導向精度是直線導軌各項精度指標中比較重要的兩項。

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