我國晶圓芯片加工進(jìn)入大規(guī)模發(fā)展的黃金時代，其上游的晶圓切割加工鏈中仍然為大量的金剛石帶鋸所占據(jù)。

目前晶圓直徑正向更大方向發(fā)展，從原來的 8、10、12、15 英寸甚至到了 20 英寸，越大越適合環(huán)形砂線切割，如圖 17，某晶圓芯片公司的 Φ350mm 晶圓在環(huán)形砂線立式機(jī)切片，效果十分滿意，其工藝參數(shù)為:

線速度 38m / s，環(huán)形砂線，進(jìn)給速度 15 ～ 30mm / min，切割面精度 0．02 ～ 0．05μm，揚(yáng)塵小環(huán)形砂線，片厚 2 ～ 5mm。

環(huán)形電鍍金剛石線

隨著工件進(jìn)給速度的增大，大理石表面粗糙度值增加。造成這一現(xiàn)象的原因是工件進(jìn)給速度的增大使得鋸絲與工件之間的作用力增大，這樣就增加了單個磨粒的切削深度，表面質(zhì)量降低。

用環(huán)形電鍍金剛石線鋸鋸切大理石時，要獲得較好的表面粗糙度，噪音小環(huán)形砂線 ，又要得到較高的切割效率，工 件進(jìn)給速度為１０ｍｍ／ｍｉｎ，鋸 絲線速度為 ３０ｍ／ｓ，鋸 絲張緊力為１００Ｎ 是較好的切割工藝。

元素工具進(jìn)行了大量的切割實(shí)驗(yàn)，耐用環(huán)形砂線 ，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：金剛石線運(yùn)行速度，進(jìn)給速度，張緊配重對切割表面質(zhì)量都有不同程度的影響。由試驗(yàn)結(jié)果可以看出，環(huán)形金剛石線鋸切割藍(lán)寶石表面切割線速度是切割工藝中一個重要的參數(shù)，特別是對于金剛石工具而言。金剛石工具在高速運(yùn)行的情況下，單位面積去除率極高體現(xiàn)其優(yōu)越性能

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