如果六氟化硫氣體中含有超過規(guī)定的水分，當其濕度發(fā)生變化時，就可能凝結在固體絕緣表面使該面變潮，這時設備的沿面放電電壓將顯著下降。六氟化硫氣體在電弧和電暈作用下分解生成的低氟化合物氣體，假如沒有水分子這個外部條件是不會生成SO2、HF及其它有害物質的，從而也就可以避免由它們產生的設備腐蝕。硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、SOF4等以及原料中帶入的雜質如HF、OF2、CF4、N2、O2等。所以，設備充裝六氟化硫氣體必須嚴密措施防止水分進入。

      六氟化硫氣體是一種安全無毒的氣體，不會對皮膚和眼睛造成傷害。但是說SF6氣體無害的前提是純品六氟化硫，如果是高壓開關中已經使用過很多次的SF6氣體，當然就不安全了。高溫、水分、高壓以及電弧作用，會導致SF6氣體分解出許多有毒物質，此外高溫的SF6氣體電離產生的電弧本身也非常危險。高溫、水分、高壓以及電弧作用，會導致SF6氣體分解出許多有毒物質，此外高溫的SF6氣體電離產生的電弧本身也非常危險。六氟化硫防護是保護工作人員的必備措施，不光是定期檢查SF6鋼瓶、高壓SF6設備還是穿著六氟化硫防護服都屬于六氟化硫防護的內容。

六氟化硫防護之設備安全防護措施：

 除了對人員進行保護，六氟化硫防護也包含設備的防護保養(yǎng)。SF6高壓電氣設備中的SF6需要定期更換，以免不純的SF6影響工作效率，對于金屬和絕緣零部件也要定期清洗。2016年將達到700噸左右，國內使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產線有近50條，在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。當然清洗出的吸附劑、金屬粉末需要經過中和處理之后進行深埋，不得直接排放到外部環(huán)境中。對于SF6電氣設備存在的車間還應定期進行檢漏測試，同時搞好排風換氣系統，保證車間內的環(huán)境安全。