真空泵維修薄膜加工中的應(yīng)用

微電子器件是現(xiàn)代高速計(jì)算機(jī)和個(gè)人計(jì)算機(jī)的基礎(chǔ),當(dāng)今在某些發(fā)達(dá)國(guó)家,微電子和計(jì)算機(jī)工業(yè)已經(jīng)超過(guò)了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國(guó)民經(jīng)濟(jì)產(chǎn)值的前沿。在電子工業(yè)和計(jì)算機(jī)工業(yè)的發(fā)展中,真空泵維修科學(xué)與技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。

微電子器件的發(fā)展,將推動(dòng)人類社會(huì)更快地進(jìn)步。微電子器件的發(fā)展趨勢(shì)是大規(guī)模集成電路,集成度越來(lái)越高,也就是芯片上的功能元件尺寸越來(lái)越小。其規(guī)律是莫爾（Moore）定律所描述的,每18個(gè)月同樣大小芯片上的元件數(shù)增加一倍。過(guò)去20年是這樣,電子學(xué)家預(yù)言,未來(lái)的15年仍是這樣。

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真空泵維修PVD涂層性能特點(diǎn)

PVD膜層抵抗力

·耐腐蝕，化學(xué)性能穩(wěn)定。

·抗酸

·在常規(guī)環(huán)境下，戶內(nèi)或者戶外，，不失去光澤并不留下痕跡?！ふ５氖褂们闆r下不會(huì)破損。

·。

·容易清除油漆和筆跡。

·在強(qiáng)烈的陽(yáng)光，咸的濕地和城市環(huán)境下，都不失去光澤，不氧化，，不脫落和爆裂。

膜層顏色種類繁多，表面細(xì)膩光滑，富有金屬光澤。

在烈日、潮濕等惡劣環(huán)境中不變色、不脫落，性能穩(wěn)定。

高度耐磨損，耐刮擦，不易劃傷。

可鍍材料廣泛，與基體結(jié)合力強(qiáng)。

高真空離子鍍膜技術(shù)——對(duì)人體和生態(tài)環(huán)境真正無(wú)害。

經(jīng)濟(jì)性：節(jié)約（減少）了一般鍍銅（金）產(chǎn)品所需清潔磨光的時(shí)間和花費(fèi)，使用一塊軟布和玻璃清潔劑即可清潔干凈PVD膜層。

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真空泵維修技術(shù)的主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

PVD鍍膜(離子鍍膜)技術(shù)的主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)—和真空蒸發(fā)鍍膜真空濺射鍍膜相比較，PVD離子鍍膜具有如下優(yōu)點(diǎn)：

A.膜層與工件表面的結(jié)合力強(qiáng)，更加持久和耐磨

B.離子的繞射性能好，能夠鍍形狀復(fù)雜的工件0v R0S4

C.膜層沉積速率快，生產(chǎn)

D.可鍍膜層種類廣泛

E.膜層性能穩(wěn)定、安全性高(獲得FDA認(rèn)證，可植入人體).

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