而光阻通常是一個很好的屏蔽資料，且由于其圖案轉(zhuǎn)印過程簡單，因而常被運(yùn)用。但運(yùn)用光阻作為屏蔽資料時也會發(fā)作邊際剝離或龜裂的景象。邊際剝離乃由于精密五金蝕刻溶液的腐蝕，形成光阻與基材間的黏著性變差所造成的。處理的辦法則可運(yùn)用黏著促進(jìn)劑來添加光阻與基材間的黏著性，一般來說，當(dāng)溶液濃度添加時，精密五金蝕刻速率將會進(jìn)步。而進(jìn)步溶液溫度可加快化學(xué)反響速率，進(jìn)而加快精密五金蝕刻速率。


非曝光區(qū)的光刻膠由于在曝光時并未發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在顯影時也就不會存在這樣的酸堿中和，因此非曝光區(qū)的光刻膠被保留下來。經(jīng)過曝光的正膠是逐漸溶解的，中和反應(yīng)只在光刻膠的表面進(jìn)行，因此正膠受顯影液的影響相對比較小。進(jìn)行顯影的方式有很多種，廣泛使用的方法是噴灑方法。這種顯影方式可以分為三個階段：硅片被置于旋轉(zhuǎn)臺 上，并且在硅片表面上噴灑顯影液；然后硅片將在靜止的狀態(tài)下進(jìn)行顯影；顯影完成后，需要經(jīng)過漂洗，之后再烘干。


采用相同的步驟對其余信號進(jìn)行布線。布線次數(shù)取決于電路的復(fù)雜性和你所定義的通用規(guī)則的多少。每完成一類信號后，其余網(wǎng)絡(luò)布線的約束條件就會減少。但隨之而來的是很多信號布線需要手動干預(yù)?，F(xiàn)在的自動布線工具功能非常強(qiáng)大，通?？赏瓿?00%的布線。但是當(dāng)自動布線工具未完成全部信號布線時，就需對余下的信號進(jìn)行手動布線。應(yīng)該采用通用規(guī)則來對信號進(jìn)行自動布線。通過設(shè)置限制條件和禁止布線區(qū)來限定給定信號所使用的層以及所用到的過孔數(shù)量，布線工具就能按照工程師的設(shè)計(jì)思想來自動布線。