氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn)，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發(fā)展。氦氣檢漏儀氦氣檢漏儀是氦質譜檢漏儀((HeliumMassSpectrometerLeakDetector)的俗稱，運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸槍法和正壓累積法。按照真空系統(tǒng)的不同結構，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)在汽車空調的應用二

汽車空調兩器檢測要求

1.1 空調兩器實際工況  

1.空調兩器工作介質：氟利昂或者碳氫化合物作為制冷劑工作于汽車空調內(nèi)部，目前比較流行使用R134a作為汽車空調的制冷劑。

2.壓力范圍：不同規(guī)格的空調兩器工作范圍在2.0~3.5MPa之間，正常工作壓力在0.8~2.0MPa之間。注：特殊情況除外。  

3.氣密性要求：對于兩器產(chǎn)品，充注一定壓力R134a制冷劑，泄露量小于2克/年。

4. 耐壓要求：對產(chǎn)品加壓到實驗壓力，保壓一段時間，降到常壓，經(jīng)檢查無泄漏和異常變形。

1.2 空調兩器氦檢漏基本要求

1.耐壓測試要求：一般兩器在執(zhí)行氦檢漏之前會充注一定壓力（一般不超過3.5MPa）的高純氮氣或者干燥的壓縮空氣，對工件作耐壓測試，如果不出現(xiàn)明顯變形及大漏，再執(zhí)行氦檢測工藝。

2.氦檢測精度要求：由于不同生產(chǎn)企業(yè)對產(chǎn)品的檢測要求不盡相同，但一般都會遵循行業(yè)標準，或比行業(yè)標準要求稍高。通?！皟善鳌睓z測標準不會超過1克/年。

3.檢測節(jié)拍要求：據(jù)調查一般的兩器生產(chǎn)廠家年產(chǎn)量都會在十萬只以上，要實現(xiàn)所有產(chǎn)品全部使用氦檢測，就要求氦檢測節(jié)拍越快越好。中科科美生產(chǎn)的氦檢系統(tǒng)，針對冷凝器檢漏節(jié)拍在40秒/件，針對蒸發(fā)器檢漏可達20秒每件；

4.氦氣回收要求：氦檢漏系統(tǒng)使用氦氣作為示蹤氣體，由于氦氣比較貴重，如果直接排放，必然導致檢測成本的大幅增加。因此，一般廠家都會要求氦氣可回收，即循環(huán)利用。氦檢系統(tǒng)，氦氣回收率可達95%以上。

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真空箱氦檢漏的特征和優(yōu)點

1、高壓氮氣強度檢測真空箱內(nèi)進行，保護操作者安全

2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、。

3、檢漏儀的自動校準功能以及自動校準程序，可隨時校準檢漏儀的靈敏度、準確度。

4、特殊設計的檢測程序判斷出具體的有漏工件，并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。

5、技術的密封接頭，減少誤判。

6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運行。

7、PLC控制，使系統(tǒng)運行清晰明了，實現(xiàn)了實時監(jiān)測及控制。

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