如何使?jié)崈羰腋?jié)能在潔凈室中有許多節(jié)能的地方，如供暖，通風(fēng)和空調(diào)（HVAC），過程冷卻，壓縮空氣和一些其他設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電量超過整個晶圓制造設(shè)施的一半。大量浪費(fèi)的電力和HVAC容量過剩的原因主要是由于設(shè)備的設(shè)計和建造的捷徑，盡可能地壓縮初始投資，而不管后期的運(yùn)營成本。的設(shè)計和的設(shè)備需要大量的前期投資。所謂的快捷方式和“節(jié)省大量廢物的小地方”的成本降低將導(dǎo)致工廠性能降低和能源消耗增加。實(shí)際工程計算中換氣次數(shù)K很難用以上公式計算，一般均采用經(jīng)驗換氣次數(shù)。

總則

　　.0.1條潔凈廠房設(shè)計必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全適用、確保質(zhì)量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。

　　.0.2條本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的潔凈廠房設(shè)計，但不適用于以細(xì)菌為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設(shè)計。

　　.0.3條在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時，潔凈廠房設(shè)計必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。

　　.0.4條潔凈廠房設(shè)計應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、測試和安全運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。

　　.0.5條潔凈廠房設(shè)計除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。

潔凈廠房位置選擇和總平面布置

　　.條對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表允許環(huán)境振動值進(jìn)行分析比較。

　　第2.條潔凈廠房為大的頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時，潔凈廠房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍。第3.1.4條潔潔廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。

　　.條潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道(可利用交通道路)，如有困難時，可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車道。

　　第2.條潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性好、發(fā)塵少的材料。

　　第3.條潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化?？射佒膊萜?、種植對大氣含塵農(nóng)度不產(chǎn)生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)。但不得妨礙消防操作。