金剛石線切割設(shè)備

金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢，本文介紹國外硅片切割設(shè)備研究的新進展以及國內(nèi)發(fā)展狀況，并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機的功能、特點和設(shè)計心得體會及金剛石單線和環(huán)線切割機應(yīng)用前景展望。

目前，硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等，具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如抗腐蝕性、電絕緣性,耐磨損性等)，在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用、，特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展，需求量不斷增加，切割加工量大幅增長，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大。而金剛石線切割不存在導(dǎo)電的問題，其加工精度和粗糙度都大幅提升。

藍寶石切割

目前人們研究和應(yīng)用較多的是截面為圓形的單根鋼絲的金剛石長切割線和環(huán)形電鍍金剛石切割線。電鍍金剛石長切割線是指采用電鍍的方法將金剛石磨料固結(jié)到金屬基體上形成的切割線，常用基體截面形狀為圓形，一般為0.12～0.5mm，主要用于硅晶體、藍寶石切割加工。此公司新開發(fā)的號稱高速切割機，線速度也僅達20m/sec，且環(huán)線周長較短，長度2。

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環(huán)形電鍍金剛石線

環(huán)形電鍍金剛石切割線是指將金剛石磨料電鍍到環(huán)形金屬基體上形成的切割線。該類切割線使用時一般纏繞到幾個導(dǎo)輪上進行單向循環(huán)切割，切割過程中無需換向，因此切割速度高。

環(huán)形電鍍金剛石切割線中的由單根鋼絲焊接成環(huán)形的切割線的線徑一般不大于1 mm，因此切縫較小，適合于硅晶體和藍寶石等比較貴重的硬脆材料的切割。

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?線切割設(shè)備

線切割設(shè)備的速度調(diào)整：

切割速度的大小不僅與材料的性質(zhì)有關(guān)，與切割面的大小也有關(guān)系，同種材料切割時，被切面較大的切割速度設(shè)置就要相對較小一些。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面，速度太快切割后的樣品表面會有明顯的切割線痕跡，因此當要求切斷試樣同時還要有很好的面型（平面度、平行度、表面粗糙度）時一般選用較慢的切割速度。電子科大,川大,交大,瑞仕萊斯等科研院校,從微觀分子結(jié)構(gòu)入手,從本質(zhì)上完善表面處理的原理和工業(yè)應(yīng)用工藝的開發(fā)環(huán)形金剛石線鋸機在磁性材料的切割方面有著絕極大的優(yōu)勢，切割NeFeB,截面63*36mm用時6分鐘，進給速度5mm/min。