電子潔凈車間

凈化車間主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。

     按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車間無(wú)塵是必然的要求。

    每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的級(jí)。潔凈度要求100000級(jí)時(shí)換氣次數(shù)在15～25次/小時(shí)范圍內(nèi)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

潔凈室的氣流組織也是凈化環(huán)境實(shí)現(xiàn)的保證措施方法之一。③不帶入灰塵·在施工中使用的電線管、照明燈具、探測(cè)器、開關(guān)等應(yīng)在進(jìn)行充分清洗后再使用。氣流組織有非層流方式或?qū)恿鞣绞絻煞N。用高度凈化的空氣把車間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋，叫做非層流方式（亂流方式）。用高度凈化的氣流作為載體，把粉塵排出，叫做層流方式。后者有垂直層流和水平層流方式。從房頂方向吹入清潔空氣通過(guò)地平面排出叫垂直層流式，從側(cè)壁方向刮入清潔空氣，從對(duì)面?zhèn)缺谂懦鼋兴綄恿魇健y流方式由于換氣次數(shù)的變化潔凈度也隨之變化，但通常潔凈度要求10000級(jí)時(shí)換氣次數(shù)在25～35次/小時(shí)范圍內(nèi)；潔凈度要求100000級(jí)時(shí)換氣次數(shù)在15～25次/小時(shí)范圍內(nèi)；潔凈度要求300000級(jí)時(shí)換氣次數(shù)在12～18次/小時(shí)范圍內(nèi)在100000級(jí)范圍；層流方式通常規(guī)定了氣體流速為0.25～0.5M/S。

電子凈化工程凈化原理：氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。

  凈化工程的設(shè)計(jì)過(guò)程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。1、空氣呈層流方式運(yùn)動(dòng)，使得室內(nèi)一切懸浮粒子均在層流層中運(yùn)動(dòng)，則可避免懸浮粒子聚結(jié)成大粒子。再根據(jù)該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。