潔凈度級別為6~9級的潔凈室則采用非單向流的氣流組織。流速控制潔凈室內空氣的流動要有一定速度，才能防止其他因素(如熱流)的擾亂。無塵車間的主要作用在于為產品生產(如硅芯片等)和服務提供所需環(huán)境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動、噪聲、照度等各項指標。不同的氣流組織直接影響施工的難易程度及工程造價。一般潔凈度級別高于5級的潔凈室均采用單向流，其中以垂直單向流，但造價也。

 純水、特氣、物料供應系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關設施。運行管理包括：實時檢測，人員培訓，設備維護，以保證受控的生產科研環(huán)境持續(xù)符合要求?？諝鈨艋环矫媸撬腿霛崈艨諝鈱κ覂任廴究諝膺M行稀釋，另一方面是迅速排出室內濃度高的污染空氣。這些污染物很容易就會對無塵車間的衛(wèi)生造成影響。在進入無塵車間的時候，應該要先進行風淋。在工作的時候，包括胡須在內的所有毛發(fā)，都應該使用毛發(fā)護具來全部地遮蓋住。

 純水、特氣、物料供應系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關設施。運行管理包括：實時檢測，人員培訓，設備維護，以保證受控的生產科研環(huán)境持續(xù)符合要求。凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護結構(俗稱“房中房”)；空調凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)。使相關產品和服務能夠在一個滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進行生產和操作，從而達到提高產品生產的良品率，改善和提升相關服務質量的目標。