近年，在這些規(guī)則規(guī)模中堅(jiān)持處理空氣進(jìn)程，使咱們必需承擔(dān)資金和運(yùn)營本錢?？墒菫槭裁粗档没ㄙM(fèi)這么多錢用在無塵車間、潔凈室中操控相對(duì)濕度呢？道理很簡單，因?yàn)橄鄬?duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w體現(xiàn)下降的因素，其間包含：1、細(xì)菌成長；2、工作人員感到室溫舒適的規(guī)模；3、出現(xiàn)靜電荷；4、金屬腐蝕；5、水汽冷凝；6、光刻的退貨；7、吸水性。

無塵廠房凈化對(duì)空氣的好處：1、負(fù)離子氧化，簡單來說，就是增加室內(nèi)空氣的含氧量，保證進(jìn)入房間的空氣保持足夠的氧氣，使室內(nèi)環(huán)境充滿活力。2、紫外線消毒，大家都知道紫外線光源的作用是有效地殺滅空氣中的流行病毒和細(xì)菌，使大家遠(yuǎn)離gan染源，關(guān)心自己的健康。3、氧化鈦抗病du藥，設(shè)備中的納米二氧化鈦經(jīng)紫外線活化，在過濾空氣的同時(shí)，可有效降解甲醛等有機(jī)有毒氣體。

無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列基本原則：排除/除去，在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無法說是肯定理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對(duì)策。

所謂潔凈度是指潔凈目標(biāo)——空氣的清洗程度。潔凈度通常用必定體積或必定分量空氣中所含污染物質(zhì)的巨細(xì)、數(shù)量或分量來表明。例如，每立方米空氣中，含有大于或等于0.5um的懸浮微粒數(shù)有X個(gè)，即潔凈度為》0.5um顆粒為X個(gè)/立方。又如：每立方米空氣中塵粒的質(zhì)量為Ymg，其潔凈度為mg/立方表明。因?yàn)榭諝鈨艋囊鈭D與目標(biāo)不一樣，凈化的內(nèi)容、辦法和衡量規(guī)范也各不相同。從空氣凈化的目標(biāo)來看，有的是要處理大氣污染的疑問，有的是以無塵車間為目標(biāo)。大氣污染的凈化主要是各種氣體廢棄物的處理疑問，是以高濃度污染空氣為目標(biāo)。而各種無塵車間面對(duì)的是室內(nèi)送風(fēng)的凈化疑問，是以超低污染濃度空氣為目標(biāo)的。所謂超低污染濃度的空氣，也即是平時(shí)以為對(duì)比潔凈的空氣。但是對(duì)于電子、宇航、高精密機(jī)械制造、、某些yi療部分及制藥等一些對(duì)出產(chǎn)環(huán)境請(qǐng)求嚴(yán)厲的技術(shù)進(jìn)程或房間，這種相對(duì)對(duì)比潔凈的空氣，仍然不符合請(qǐng)求，還需求進(jìn)一步凈化。