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發(fā)布時(shí)間:2020-12-06 10:06  
光波超精密技術(shù)研究院——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌
空氣靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件通過(guò)氣膜彼此隔離,當(dāng)壓縮空氣從氣浮板和支撐表面之間的空隙中排出時(shí)就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過(guò)節(jié)流器進(jìn)入氣腔,沿封氣朝向外流動(dòng),在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處,氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺(tái)浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài),從而產(chǎn)生空氣摩擦。負(fù)荷增大時(shí),氣膜厚度降低,而負(fù)荷增大時(shí),氣膜厚度增加;氣膜既起承壓作用,又起潤(rùn)滑作用。
光波超精密氣浮導(dǎo)軌——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌
大尺寸精密花崗石氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)作為標(biāo)準(zhǔn)基準(zhǔn)工作平臺(tái),主要用于大尺寸測(cè)量設(shè)備的示值校準(zhǔn)。通過(guò)拓展(安裝長(zhǎng)度基準(zhǔn)器激光或光柵)常應(yīng)用于大尺寸測(cè)量設(shè)備(如:激光*儀)的距離示值校準(zhǔn)、空間尺寸測(cè)量示值校準(zhǔn)、動(dòng)態(tài)示值校準(zhǔn);激光準(zhǔn)直儀的準(zhǔn)直精度調(diào)試及校準(zhǔn);手持式激光掃描儀、激光測(cè)距儀的定位精度校準(zhǔn);通過(guò)安裝影像系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)線紋尺、鋼卷尺等測(cè)量?jī)x器和設(shè)備的測(cè)試與校準(zhǔn)等。
光波超精密——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌
獨(dú)立的具有隔、防震功能的整體加強(qiáng)的鋼骨水泥及鋪設(shè)底沙基的設(shè)備支承基礎(chǔ)(建議的結(jié)構(gòu)形式)。
地基振幅要求:8 微米,(0~6)Hz;3 微米,閉式氣動(dòng)直線導(dǎo)軌,(6~50)Hz;8 微米,機(jī)床氣動(dòng)直線導(dǎo)軌,大于 50Hz。
設(shè)備支承地基的定位安裝面的水平等高差要求:≤2 mm。
地基的實(shí)施結(jié)構(gòu)形式:由建筑設(shè)計(jì)人員根據(jù)精密導(dǎo)軌所在設(shè)備安裝的地質(zhì)條件及必需保持的穩(wěn)定性精度的要求進(jìn)行設(shè)計(jì)和建造。
注意:如果您的測(cè)量設(shè)備周圍有大的震源,請(qǐng)根據(jù)地基圖紙準(zhǔn)備地基。震源指所有可能對(duì)地基產(chǎn)生振動(dòng)的影響源,含大的加工機(jī)床,磨床,沖床,交通要道等。
光波超精密技術(shù)研究院——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌
氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承的基本原理,實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦和無(wú)振動(dòng)的平滑移動(dòng)。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無(wú)污染等特點(diǎn)。同時(shí)還具有誤差均化作用,氣動(dòng)直線導(dǎo)軌品牌,因而可用比較低的制造精度來(lái)獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量?jī)x器、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。

光波超精密——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌
根據(jù)工作原理,將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類型:氣動(dòng)壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動(dòng)壓力型如左下圖所示,兩面相對(duì)運(yùn)動(dòng),間隙呈楔形,沿運(yùn)動(dòng)方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對(duì)運(yùn)動(dòng),由于氣體的粘滯作用,被拖帶壓下,形成動(dòng)壓懸浮。
靜壓力形式如右下圖所示,是通過(guò)節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中,借助于其靜壓力使之懸浮
如圖所示,節(jié)流孔的作用是在間隙改變時(shí),調(diào)節(jié)間隙內(nèi)的壓力,因此導(dǎo)軌有剛度??諝飧⊥矊?dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動(dòng)副,滑動(dòng)片之間是氣膜潤(rùn)滑。
光波超精密空氣導(dǎo)軌——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌
開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌在左上角為平坦型,大興區(qū)氣動(dòng)直線導(dǎo)軌,右上角為平坦型,左下角為雙三角型,右下角為平坦型轉(zhuǎn)折,具有以下特征:
(1)承受正載荷的能力很大,承受偏載和顛覆力的能力較差,無(wú)法承受反向載荷;
(2)導(dǎo)向器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于制造和調(diào)整;
當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后,氣室壓力僅取決于載荷,因此載荷較小時(shí),氣膜剛度較低
總之,開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場(chǎng)合。
閉式靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件,除了在其運(yùn)動(dòng)方向上有一個(gè)自由度外,其它運(yùn)動(dòng)自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制,故屬于幾何閉合。


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