光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析：對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機(jī) FFU?？傊?，具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

潔凈室的管理規(guī)范：

    1、進(jìn)入潔凈室的管理，包括對(duì)潔凈室工作人員進(jìn)入，物料進(jìn)入，各類(lèi)設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備，管線的維護(hù)管理，應(yīng)做到不得將微粒，微生物帶入潔凈室。

    2、操作管理技術(shù)，對(duì)潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動(dòng)和動(dòng)作，室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒，微生物的產(chǎn)生，滯留，繁殖等。

    關(guān)于潔凈室等動(dòng)力采樣的問(wèn)題：所謂等動(dòng)力采樣就是在檢測(cè)時(shí)，粒子的計(jì)數(shù)器的采樣管的入口方向與被采樣的單向氣流方向相一致，并且空氣進(jìn)入取樣管入口的平均速度與該位置單向氣流的平均速度相同。由于對(duì)凈化工程的檢測(cè)咱們主要關(guān)心兩種粒徑，即0.5um和5um。非等動(dòng)力采樣關(guān)于≤0.5um的粒子影響不大。假如取樣空氣用于計(jì)算大于或等于0.5um的粒徑濃度，假如這些粒子不受非等動(dòng)力條件的影響，則計(jì)算結(jié)果也不受影響。