凈化工程中空氣凈化處理方案：

    ●確定集中或分散式凈化空氣調節(jié)系統時，應綜合考慮生產工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節(jié)系統。

    ●凈化工程中凈化空氣調節(jié)系統除直流式系統和設置值班風機的系統外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內的防灌倒措施。

    潔凈室凈化工程檢測點的安置：依據中華人民共和國國家標準GBJ73-84《潔凈廠房設計規(guī)范》的規(guī)則：在對凈化車間進行潔凈度檢測時，檢測點應為距室內地坪1.00m的水平面內;關于單向流型凈化車間測點總數應不小于20點，測點間距為0.5-2.0m。水平單向流測點僅安置在一凈化車間工作區(qū)內;非單向流凈化車間按凈化車間面積小于或等于50m2安置5個測點。

    我國的潔凈室工程開始于20世紀60年代初，在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時，潔凈廠房用設備和資料，如過濾器，潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入出產，雖然制作質量和某些工程指標與世界水平尚有差距，但已能滿足國內部分需求，到20世紀70年代末我國潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。