設備運行初期，靜電吸附同等離子吸附的處理效果都很好，洗滌法的去除效率會稍低一些。而隨著運轉時間的增加，洗滌法同等離子吸附法的排放口煙氣濃度相對較穩(wěn)定，而靜電吸附法由于電極上吸附層的變厚，處理效果會不可避免地有所降低。

從運行費用看，洗滌法運行時的運行成本無疑是高的，它的動力消耗包括風機和水泵兩部分，含油廢水的處理成本也占較高的比重。靜電吸附和等離子吸附的動力消耗都比較少，極板或者吸附板的清洗要間隔幾個月才進行一次，對整體運行成本貢獻不大。