焊接聯(lián)接

焊接聯(lián)接的強度和密封性不錯，適用于各種管道，省工省料，但拆卸時必須切斷管子和管子聯(lián)接件。　氣體管道安裝要求

實驗室的氣體供應不同于一般工廠的要求，首先表現(xiàn)在儀器設備對氣體的純度要求較高，一般工作氣體要求達到99.999%以上，其次氣體的供應必須連續(xù)，輸出壓力平穩(wěn)，氣體的壓力波動可能導致儀器設備無法正常工作，氣體的不連續(xù)供應甚至可能導致儀器設備故障，因此實驗室氣體管路的設計必須非常嚴格。聯(lián)接時根據(jù)氣體的性質、壓力和溫度選用不同的法蘭和密封墊片，利用螺栓夾緊墊片保持密封。

1、 所有氣體管路都由高質量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管SS-316L組成。銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴格的地方（比如通風柜）。

2、 所有的管路、閥門，壓力表都由高質量的不銹鋼構成，并且都是標準配件。

3、 根據(jù)實驗室的用氣量，計算供氣壓力，流量和管道的內徑，所有氣體主管道原則不低于9.52mm,管路末端,原則上直徑不低于6.35mm。

4、 所有管路在天花板下面布設，并通過功能柱到中央臺，邊臺的氣體管路隱藏在實驗工作臺后面服務通道內。

5、 易i燃氣體（如乙i炔、氫氣等）需要和其它氣體分開，單獨引入。

6、 所有管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調節(jié)裝置時，才可以使用壓力配件。

7、 每個實驗室都要有單獨的閥門、減壓閥門、壓力表。此外，對于供應多臺分析儀器的氣體管路，另外還需氣體壓力控制指示裝置。

8、 引到工作臺的氣體管路將安裝單獨的球閥或針閥來控制。

9、 氣相色譜工作臺上均勻的排放各種氣體的出口龍頭，管徑為3.18mm，在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

10、工作臺上氣體出口由單獨的閥門來控制。

11、所有氣體出口為不銹鋼閥門。

12、氣體管路每隔1.5米的距離,都要有明確標示,同時指示氣體的流向.

13、氣體管路的支架要求耐腐蝕，可以采用不銹鋼或其他合適的工程塑料等制作。

14、每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架，另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑，設置合適的支架位置。

氣體管道工程施工有什么標準？

1.所有的管路、閥門、壓力表都由高質量的不銹鋼構成，并且都是標準配件。所有氣體出口為不銹鋼閥門。工作臺上氣體出口由單獨的閥門來控制。引到工作臺的氣體管路將安裝單獨的球閥或針閥來控制。

2.所有氣體管路都由高質量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管SS-316L組成，銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴格的地方(比如通風柜)

3.根據(jù)實驗室的用氣量，計算供氣壓力、流量和管道的內徑，所有氣體主管道原則上不低于9.52mm(3/8in,儀器空氣主管道直徑為12.7mm).管路末端，原則上不低于6.35mm(1/4in,也可根據(jù)實際使用量而定)。

4.每個實驗室都要有單獨的閥門、減壓閥門、壓力表。此外，對于供應多臺分析儀器的氣體管路，另外還需要氣體壓力控制指示裝置。所有氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調節(jié)裝置時，才可以使用壓力配件。

5.氣體管路的支架要求耐腐蝕，可以采用不銹鋼或其他合適的工程塑料等制作。每隔1.5m左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑，設置合適的支架位置。

6.所有彎曲處都要有支撐。所有“U”性彎曲處根據(jù)安裝情況，需要有支撐。

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質量。實驗室供氣系統(tǒng)主要包括中央集中供氣系統(tǒng)和氣瓶分散供氣系統(tǒng)兩種模式。除取決于制氣或凈化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質。

管路的材質則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管，經電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經過光輝燒結(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體，如GN2、CDA。4、所有管路在天花板下面布設，并通過功能柱到中央臺，邊臺的氣體管路隱藏在實驗工作臺后面服務通道內。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

高純氣體管道工程的變溫吸附法除水步驟有哪些？

1、用固體CaCl2除水，水份可降低至0.1%（體積）以下；

2、用硫酸洗滌除去高純氣體夾帶的水份，為了除去高純氣體中的雜質水，資料表明工業(yè)上常用硫酸洗滌除去高純氣體夾帶的水份。在保持過程佳工藝的理想條件下，水份可降至0.01%（體積）以下；

3、采用冷凍法來脫除高純氣體中水，可降到600～1000ppm，夏季水份還要更多些；

4、JMT型干燥劑是一種含硅i鋁比的絲光沸石型分子篩，具有良好的熱穩(wěn)定性，除在300℃前有一脫水而引起明顯吸熱峰外，在900℃前無明顯的分解峰，說明其晶格具有優(yōu)良的穩(wěn)定性。