無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。

     在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對(duì)成品率有重大影響，故應(yīng)在過程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲(chǔ)備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。

　 無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用的過濾器即可容易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則：

　   不攜入

　　在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

　　作業(yè)員進(jìn)入無塵室前，機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理；

　　進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　通過風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無塵室。

　　機(jī)器及材料帶進(jìn)無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無塵室。

　　無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

    不發(fā)生

　　在控制大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

　　減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；

　　采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

　　采用發(fā)塵小的潤滑油；

　　機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。