全球氦氣緊張狀況,特種氣體是光電子、微電子等領域

全球氦氣緊張狀況，特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的性和準確性。半導體照明是正處于方興未艾的產業(yè)，隨著化合物半導體市場的擴展，特種氣體的需求呈現更大的增長，外延生長需要大量的超純源和過程氣體。

排氣分析儀應進行低濃度標準氣體檢查

通過以上內容可以看出，對排氣分析儀應進行低濃度標準氣體檢查。若檢查不通過，則使用高濃度氣體標定，然后用低氣檢查，直到滿足要求為止。這個過程都叫單點檢查。就是說低點不合格，還有機會，不一定非要做五點檢查，只有當單點檢查不通過后，才必須做五點檢查。這樣而言五點氣濃度中的，中低點和中高點氣體可以暫時不配或幾個機構共配。

高純氦氣是怎么樣的氣體呢?

（7）在亞微米級集成電路生產中，要求提供10-9級高純氣體。為了保證結束氣體處理設備的氣體純度，應提高氣體中的雜質含量（包含塵粒）控制在規(guī)定值內，一般在設備前設置終端凈化設備或終端高精度氣體過濾器。每種氣體都有自身的能量，有的是對人們有利的，但有的氣體確是對人們有害的，平常看的電視劇電影，諜戰(zhàn)的那種，很多里面都會有這些風險氣體，可見，東西都要用對當地，這樣才干發(fā)揮作用，那么高純氦氣是怎么樣的一種氣體呢？關于它的注意事項又是什么呢？

高純燃氣管網不宜過大或過長,宜選用不封閉的環(huán)狀管道

（3）依據燃氣設備的散布情況，高純燃氣管網不宜過大或過長，宜選用不封閉的環(huán)狀管道，在系統(tǒng)結束接連排放少量燃氣，使管網中一直有高純度氣體循環(huán)，不會因“死區(qū)”而構成高純度氣體污染。（4）應減少不流動氣體在管道中的“死區(qū)”，且不應是盲管，在儲氣罐和氣體設備之間應設置吹掃閥控制設備和控制設備，用于控制吹掃閥的開關次序和系統(tǒng)，以保證供氣系統(tǒng)的安全，可靠運轉，防止“死區(qū)”停留污染物構成，降低氣體純度。