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超精密加工機的需求急劇增加，在工業(yè)界的應用包括非球面光學鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等。在這一時期，超精密加工設備的相關技術，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油承導軌、摩擦驅動進給軸也逐漸成熟。

在精密機械零件加工工藝路線中，常安排有熱處理工序。熱處理工序位置的安排如下：為改善金屬的切削加工性能，如退火、正火、調質等，一般安排在機械零件加工前進行。

精密機械零件加工的磨削加工

磨削加工采用的機床有三種主要類型：平面磨床、內外圓磨床及工具成型磨削機床。精加工磨削時要嚴格控制磨削變形和磨削裂紋的出現，哪怕是工件表面的顯微裂紋，否則在后續(xù)的工作中也會漸漸顯露出來。因此，精密磨削時的進刀量要小，磨削中冷卻要充分，盡量選擇冷卻液介質，加工余量在0.01mm內的零件要盡量恒溫磨削。

精加工后技術要求：

1、精加工后的零件擺放時不得直接放在地面上，應采取必要的支撐、保護措施。

2、加工面不允許有銹蛀和影響性能、壽命或外觀的磕碰、劃傷等缺陷。

3、滾壓精加工的表面，滾壓后不得有脫皮現象。

4、終工序熱處理后的零件，表面不應有氧化皮。經過精加工的配合面、齒面不應有退火。

零件在制造過程中，可能內部存在夾渣、空洞等原始缺陷，在使用過程中可能產生微觀裂紋。這些缺陷不能直接從一般的觀察和測量中發(fā)現，但它對機械可能產生嚴重的后果，因此，在機械檢修中，必須有目的的對某些零件進行檢查。

機械零部件加工的時候，要了解這個零件的具體情況，是某一設備的其中一部分，還是一個單獨存在的零件。這個零件的外形尺寸如何，我們的設備能不能加工。還有需要通過哪些工序進行加工，這個之間的先后程序如何。還有就是零件在加工當中，難做到的是哪些方面。另外零件的加工流程和思路，要在腦子里面形成一個過程，看有沒有錯誤。