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發(fā)布時間:2020-11-18 10:05  
光波超精密——空氣導(dǎo)軌
根據(jù)工作原理,將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類型:氣動壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動壓力型如左下圖所示,兩面相對運動,間隙呈楔形,沿運動方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對運動,汕頭空氣導(dǎo)軌,由于氣體的粘滯作用,被拖帶壓下,形成動壓懸浮。靜壓力形式如右下圖所示,是通過節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中,并借助靜壓力使之懸浮,節(jié)流孔的作用是在氣隙改變時,調(diào)節(jié)氣隙中的壓力,使導(dǎo)軌具有剛度??諝飧⊥矊?dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動副,滑動片之間是氣膜潤滑。
光波超精密空氣導(dǎo)軌——空氣導(dǎo)軌
平面氣浮導(dǎo)軌的摩擦力有一種"√―"形變趨勢,隨著移動速度的增加先下降到一個zui低值,然后逐漸上升到一個平衡值,但不隨移動速度的增加而改變;而zui大摩擦力隨著氣浮軸承進(jìn)氣壓力的變化而變化.因為測量機移動時的慣性力大小與馬達(dá)驅(qū)動力、氣浮導(dǎo)軌的摩擦力以及移動部件的質(zhì)量有關(guān)的慣性力會隨著測量機測量速度和加速度的變化而變化.從上面的分析中可以看出,三坐標(biāo)測量機的zui優(yōu)測量速度和zui優(yōu)加速度都存在著變化.參考文獻(xiàn)[7]的試驗結(jié)果證實了這一點。
空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測量機實現(xiàn)三維運動測量的重要組成部分。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌,單軸空氣導(dǎo)軌,大多采用滑動摩擦導(dǎo)軌,因其摩擦阻力大,較易磨損,靜、動摩擦系數(shù)差異較大,且在低速時容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象,已不能滿足測量精度和速度的不斷提高,因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小,運行平穩(wěn),運動精度高,磨損小,是目前三坐標(biāo)測量機中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。

光波超精密——空氣導(dǎo)軌
滑移導(dǎo)軌的特點是導(dǎo)軌和滑動件之間采用介質(zhì),介質(zhì)的種類包括固體抗摩擦材料、油和空氣等,因此滑移導(dǎo)軌也分為不同類型。
zui為常見的防摩擦導(dǎo)軌是在運動部件上安裝固體防摩擦材料,如 PVC或銅混和材料,用以降低導(dǎo)軌的摩擦。抗摩擦性材料應(yīng)設(shè)計有油槽,以滿足運動部件與導(dǎo)軌表面之間的油潤滑或其他潤滑形式的要求。
應(yīng)用zui廣的是液壓介質(zhì),其典型代表是靜壓導(dǎo)軌。受壓時,液壓油進(jìn)入滑動件的溝槽,滾動空氣導(dǎo)軌,在滑動件與導(dǎo)軌之間形成一層油膜,將滑動件與導(dǎo)軌隔開,可大大降低滑動件受到的摩擦,從而實現(xiàn)潤滑。
靜壓式導(dǎo)軌對于大載荷下的潤滑有很好的效果,對于偏心載荷也有一定的補償作用。例如,一臺加工機床在加工一臺大型砂型箱時,砂型箱正向機床行程的末端移動,這時靜壓導(dǎo)軌能增大油壓,使導(dǎo)軌精i確地保持水平載荷狀態(tài)。該技術(shù)還被一些臥式鏜銑床用來補償深孔加工時主軸轉(zhuǎn)速的下降。
使用油作介質(zhì)的另一種導(dǎo)軌是動壓導(dǎo)軌,它與靜壓導(dǎo)軌的不同之處在于,它不使用壓力,而是使用油的粘性,以避免動壓部件與導(dǎo)軌直接接觸。這種優(yōu)點是液壓油泵可以節(jié)省。
氣體也是滑動導(dǎo)軌與滑動部件之間的常用介質(zhì),它又分為靜壓導(dǎo)軌和氣動動壓導(dǎo)軌兩種形式,其工作原理與液壓導(dǎo)軌中的靜壓力導(dǎo)軌和動壓力導(dǎo)軌相似。
光波超精密技術(shù)研究院——空氣導(dǎo)軌
可調(diào)性是直線滑動導(dǎo)軌特有的優(yōu)點。依據(jù)導(dǎo)軌的使用情況,直線滑行導(dǎo)軌系統(tǒng)都將配備可調(diào)邊,有一個或多個。因為運動部件要沿直線導(dǎo)軌的側(cè)向運動,必須保證運動部件與導(dǎo)軌的側(cè)向緊密接觸,所以導(dǎo)軌要有可調(diào)節(jié)功能。

光波超精密——空氣導(dǎo)軌
獨立的具有隔、防震功能的整體加強的鋼骨水泥及鋪設(shè)底沙基的設(shè)備支承基礎(chǔ)(建議的結(jié)構(gòu)形式)。
地基振幅要求:8 微米,(0~6)Hz;3 微米,(6~50)Hz;8 微米,大于 50Hz。
設(shè)備支承地基的定位安裝面的水平等高差要求:≤2 mm。
地基的實施結(jié)構(gòu)形式:由建筑設(shè)計人員根據(jù)精密導(dǎo)軌所在設(shè)備安裝的地質(zhì)條件及必需保持的穩(wěn)定性精度的要求進(jìn)行設(shè)計和建造。
注意:如果您的測量設(shè)備周圍有大的震源,請根據(jù)地基圖紙準(zhǔn)備地基。震源指所有可能對地基產(chǎn)生振動的影響源,含大的加工機床,磨床,沖床,交通要道等。
光波超精密技術(shù)研究院——空氣導(dǎo)軌
氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承的基本原理,實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。同時還具有誤差均化作用,因而可用比較低的制造精度來獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應(yīng)用。


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