維護工業(yè)烤箱的相關(guān)措施如下所示。工業(yè)烤箱保養(yǎng)方法。是否準確，如果不是很準確，要看其誤差是否在規(guī)定的范圍內(nèi)，否則就要進行檢查維修了。檢查溫控器是否準確，假如不準確的話，要及時調(diào)整溫控器的傳感器修正值或者是靜態(tài)補償。檢查通風(fēng)口是否有產(chǎn)生堵塞現(xiàn)象，假如有的話，要及時將灰塵清理掉。日常保養(yǎng)。每一天在使用工業(yè)烤箱時，要檢查一下風(fēng)機的運行情況，看是否維持正常的運行，是否有異常的聲音發(fā)出來，假如發(fā)現(xiàn)有異常現(xiàn)象產(chǎn)生，必須要將設(shè)備關(guān)掉，并要通知相關(guān)的人員進行檢查維修，必要的時候可以讓廠家的技術(shù)人員來幫助。

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。高壓gong燈G線(436 Nm)或我們吳行(波長365 nm)輻照，光刻膠的光刻膠與掩模圖形的光敏圖案相同！

1、內(nèi)材質(zhì)為熱變形量小的SUS鏡面不銹鋼，外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過粉體噴塑，耐磨不掉塵渣

2、保溫材質(zhì)：高密度纖維棉，隔熱性好，大限度地保證溫度保溫性。

3、分層結(jié)構(gòu)設(shè)計：內(nèi)箱層板高低可調(diào)，可自由取出；

4、溫度控制為PID微電腦自動演算智能溫控表，PV/SV同時顯示

5、過濾器：HEPA過濾網(wǎng)構(gòu)造潔凈室與潔凈等級100以下；

6、內(nèi)循環(huán)風(fēng)設(shè)計：強制送風(fēng)內(nèi)循環(huán)，確保溫度均勻；

7、可選配PLC HMI人機觸摸屏控制系統(tǒng)，帶數(shù)據(jù)輸出接口。（選配可配置充氮氣系統(tǒng)（氮氣進氣口，自動預(yù)熱控制）。