標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性問題

為了解決標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性問題，在配制時(shí)廳以采取如下措施，促進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)氣體混合均勻。振動(dòng)或旋轉(zhuǎn)，這是對(duì)裝有標(biāo)準(zhǔn)氣體的鋼瓶進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或把鋼瓶放倒在地上滾動(dòng)的方法。（1）先混合后裝氣，在貯氣槽或大容器內(nèi)安裝螺旋槳等攪拌器，用壓力法或其他方法把氣體充入容器中攪拌，使氣體混合均勻。也可以采用微小振動(dòng)或使鋼瓶上下運(yùn)動(dòng)的方法加快鋼瓶?jī)?nèi)的氣體混合均勻。自然擴(kuò)散法，將已配制的鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣置于適當(dāng)位置，靜止不動(dòng)，依靠氣體本身的自然擴(kuò)散來達(dá)到混合均勻。但此法的缺點(diǎn)是為達(dá)到均勻狀態(tài)所需要的時(shí)間較長(zhǎng)，而且因氣體的種類、濃度不同而所需要的時(shí)間不同。

在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小，其對(duì)氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量的要求也越來越高。線寬下對(duì)超純氮?dú)獾囊螅?strong>高純氮?dú)?/strong>（PN2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。液態(tài)混合物的潛在危險(xiǎn)，除了遵從和氣態(tài)混合物同樣的規(guī)則，還應(yīng)考慮：1、充裝不能超量。（N2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管或光亮退火（BA）低碳（316L）不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。

稀有氣體的特點(diǎn)

稀有氣體(RareGases)：元素周期表后一族的六種惰性氣體中的任何一種氣體, 即氦、氖、氬、氪、氙、氡。種氣體均可以空氣分離方法從空氣中提取。低壓液化氣體(Low P ressu re L iquef ied Gases) ：臨界溫度大于70℃的氣體。根據(jù)氣體圈子2017年統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，政府各部門多次出臺(tái)特種氣體鼓勵(lì)政策。區(qū)分為不燃無毒和不燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 可燃無毒和可燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 易分解或聚合的可燃?xì)怏w。此類氣體在充裝時(shí)以及在允許的工作溫度下貯運(yùn)和使用過程中均為液態(tài)。包括的氣體品種有二氟氯甲烷、二氟二氯甲烷、三氟氯、五氟氯、氯、三氯化硼、二氧化硫、二氧化氮、丙烷、丙烯、正丁烷、異丁烷、1- 丁烯、異丁烯、順- 2-丁烯、反- 2- 丁烯、R142b、R 143a、R152a、氨、乙胺、甲硫醇、1, 3—丁二烯。