在拆開真空泵回油管時，要事先整理周圍的塵垢。拆開后，回油管開口處用潔凈的塑料制品或石蠟制品堵住，避免雜質(zhì)進(jìn)入回油管內(nèi)。一起留意回油管的標(biāo)示，以便拼裝?！　yco隔膜泵維修工廠在替換O型圈、油封等密封件時不應(yīng)用尖利的東西避免損害，O型圈拼裝時，留意密封圈不允許歪曲變形，要確保滑動過程中的光滑功能。　hyco隔膜泵維修工廠裝置油管接頭，要留意擰緊力度恰當(dāng)，不應(yīng)過緊，裝置轉(zhuǎn)子等相對重的關(guān)鍵零部件，應(yīng)當(dāng)用支撐架或許其他東西支撐住，避免滑落致使損害。離子檢漏法與電離真空計檢漏法類似，是利用示漏氣體進(jìn)入真空泵時，泵電流將發(fā)生變化的特性進(jìn)行工作的，根據(jù)這種變化，可檢測出真空系統(tǒng)的漏孔，并可估算漏孔的大小。

真空系統(tǒng)。是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。該真空系統(tǒng)出廠時已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過濾、主要運行數(shù)據(jù)顯示、運行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等。只需要在現(xiàn)場進(jìn)行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動化控制。真空泵脫胎于壓縮機與螺桿液體輸送泵，是容積式真空泵中一種較為理想的干式真空泵。

　在使用帶有真空泵的抽氣系統(tǒng)，或把被檢件接到真空泵抽氣系統(tǒng)上去時，人們可以在任何時間、在壓力低于10-2 Pa的條件下，對系統(tǒng)或被檢件進(jìn)行檢漏。這種檢漏方法無須額外儀器，既靈敏又簡便。其示漏氣體可選用氧、、氫等。　　首先將真空泵抽空，抽到較低壓力后關(guān)閉閥門，使泵保持在較低壓力下工作。接入被檢件，用前置泵排氣，當(dāng)真空度達(dá)到1-10-1 Pa時，關(guān)閉一閥門并打開另一閥門，用真空泵抽氣。當(dāng)達(dá)到平衡壓力后，用示漏氣體(如Ar)噴吹有漏孔處，如噴吹到漏孔處時，示漏氣體就會進(jìn)入系統(tǒng)，使真空泵的放電電流指示迅速上升，這是因為泵對氣抽速較低的緣故。

無油真空泵維修保養(yǎng)知識，如果是旋片真空泵，應(yīng)安裝在清潔、干凈的環(huán)境里，不宜有雜物、粉塵、水源、溫度過高的區(qū)域。初次安裝進(jìn)口真空泵時，應(yīng)檢查電機是否正轉(zhuǎn)，也就是電機與泵內(nèi)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)向一致，一般電機上方標(biāo)有電機正常運方向。長時間停機啟動真空泵前，應(yīng)斷續(xù)多次啟動真空泵。在使用完真空泵后，應(yīng)對真空泵進(jìn)行放油處理。在真空泵運轉(zhuǎn)時油溫不應(yīng)高于75度，如故障原因請即時真空泵廠家。如果真空泵有吸入雜質(zhì)、粉塵、水份、化學(xué)物質(zhì)等潛在危險，應(yīng)該在真空泵進(jìn)氣口位置加裝精密過濾器，如果雜質(zhì)、粉塵、水份量過大，必須加裝儲蓄罐進(jìn)行過濾，以防止粉塵以及水份化學(xué)物質(zhì)等雜質(zhì)進(jìn)入真空泵。全新設(shè)計的NT系列進(jìn)一步增強了泵的性能參數(shù)，具有更佳的蒸汽耐受性。