什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。任意設定值百分比變化區(qū)域不少質(zhì)量流量控制器的技術(shù)參數(shù)采用設定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來定義設備響應速度，比如：從設定值的10%到達90%所需要的時間。

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流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。1．接觸式熱式質(zhì)量流量器這種質(zhì)量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內(nèi)，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計，適于測量氣體的較大質(zhì)量流量。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設定電位器, 外設、內(nèi)設轉(zhuǎn)換和三位閥控開關等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。

流量控制器如何測混合氣體的流量？

質(zhì)量流量計是采用感熱式測量百，通過分體分子帶走熱量多少從而來測量流量，因為是用感度熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結(jié)果 。

即氣體流過加熱元件時將熱量帶走，帶走的熱量與氣體的流速問和氣體的密度成正比。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱答元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質(zhì)量有關，由此測量流專量。

此方法，日系發(fā)動機常用。

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流量控制器的特點

地定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。

適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品流量范圍可達0～5 sccm，流量范圍可達0～200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%， 流量控制范圍是滿量程的2～100% 量程比為-- 50:1， 因此在很多領域得到廣泛應用。通常流體密度變化小，可以認為流速與流體質(zhì)量流量正比，因此流速的補償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進行補償。