石英撓性加速度傳感的工作原理其是由軛鐵由溫度系數(shù)低導(dǎo)磁性能好的軟磁材料組成。磁鋼采用導(dǎo)磁性能比較良好的永磁材料，用磨床加工。撓的材料為溫度性能的石英玻璃，外形采用超聲加工而成，撓性元件的加工一般采用化學(xué)腐蝕方法；也可以采用反應(yīng)離子蝕刻工藝加工整個(gè)撓，但造價(jià)很高。加速度引起的差動(dòng)電容變化量由伺服電路中差動(dòng)電容檢測(cè)器檢測(cè)，為其輸出為電流，經(jīng)電流積分器變成輸出電壓，然后跨導(dǎo)補(bǔ)償放大器把電壓變成輸出電流，此輸出電流的大小與輸入加速度成正比。英撓性加速度傳感器為單軸力矩反饋式加速度計(jì)，通過檢測(cè)質(zhì)量來檢測(cè)外界的加速度信號(hào)，再經(jīng)伺服電路解調(diào)、放大，輸出電流信號(hào)正比于加速度信號(hào)。產(chǎn)品廣泛用于航空航天高精度導(dǎo)航系統(tǒng)、慣性導(dǎo)航、航海定位、飛行姿態(tài)控制或地質(zhì)勘探捷聯(lián)系統(tǒng)。石英撓性伺服加速度計(jì)是具有先進(jìn)水平的新型傳感器。它精度高、長期穩(wěn)定性好、體積小巧。是對(duì)加速度、速度、距離、搖擺、振動(dòng)、傾斜等物理量敏感、測(cè)量、控制方面的換代產(chǎn)品。

石英撓性加速度計(jì)的高精度信號(hào)處理是基于力矩平衡原理、采用伺服回路實(shí)現(xiàn),伺服回路的性能是制約石英撓性加速度計(jì)性能提高的關(guān)鍵因素之一。 現(xiàn)有技術(shù)方案中,混合集成式模擬伺服回路因集成電路工藝問題,精度較低;分立元件式伺服回路集成度低,傳輸電容信號(hào)、極易受寄生電容影響,實(shí)用性較低。石英撓性加速度計(jì)主要有4個(gè)分類，分別是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等，產(chǎn)品具有量程較大，穩(wěn)定性能好，精度高，氣密性能好的特點(diǎn)，主要應(yīng)用在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)，平臺(tái)慣導(dǎo)系統(tǒng)，并在航空、航天、艦船、慣性測(cè)量和制導(dǎo)等行業(yè)。

單軸石英撓性加速度計(jì)對(duì)航空器交會(huì)對(duì)接過程中所產(chǎn)生的加速度信息進(jìn)行高精度測(cè)量，從而為飛船精準(zhǔn)掌握自身姿態(tài)變化提供了重要的參考。航天器之間能實(shí)現(xiàn)這樣的對(duì)接，離不開石英撓性加速度計(jì)的優(yōu)異表現(xiàn)。單軸石英撓性加速度計(jì)不僅要對(duì)航空器交會(huì)對(duì)接中穩(wěn)住速度、引好方位，還在空間科學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)——微重力主動(dòng)隔振平臺(tái)關(guān)鍵技術(shù)的驗(yàn)證中擔(dān)任要職，要對(duì)載荷六自由度的空間運(yùn)動(dòng)作準(zhǔn)確測(cè)量。為保證交會(huì)對(duì)接的高精度測(cè)量要求，必須給石英撓性加速度計(jì)防止內(nèi)部氣體在真空環(huán)境下泄漏。為充分保證密封的可靠性，又模擬太空環(huán)境，對(duì)其進(jìn)行振動(dòng)、沖擊、熱循環(huán)、熱真空等嚴(yán)酷試驗(yàn)的考核，單軸石英撓性加速度計(jì)解決了長期穩(wěn)定性等一系列的難題。