凈化車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

根據潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調機配合送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

設計人員在設計時應充分考慮潔凈室的特點，嚴格控制防火分區(qū)，使之達到規(guī)范要求，我國現行消防技術規(guī)范已對潔凈室防火分區(qū)提出了明確的要求，規(guī)定甲、乙類生產的潔凈室宜為單層，其防火分區(qū)很大允許建筑面積，單層廠房宜為3000平方米，多層廠房宜為2000平方米；丙、丁、戊類生產的潔凈室其防火分區(qū)很大允許建筑面積應符合現行《建筑設計防火規(guī)范》的規(guī)定。除此以外，我們還應特別注意潔凈室的頂棚和壁板、潔凈生產區(qū)與一般生產區(qū)間的隔斷以及技術豎井等部位的防火處理，要求其必須采用不燃燒體材料，且耐火極限要達到相應技術規(guī)范的要求。5、GMP江西無塵車間日常需要進行消毒滅菌，方法有很多，可以采用干熱滅菌、濕熱滅菌、輻射滅菌、氣體滅菌、消毒劑消毒。

百級潔凈室規(guī)劃裝修參數規(guī)范：

　　1. 潔凈度：粒徑≥0.1微米的塵土粒子數量需求小于100個。

　　2. 壓差及溫濕度：溫度22℃±2;濕度55%±5;根本房間要滿布ffu，做高架地板。做MAU ffu DC系統(tǒng)。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度確保在10pa左右。

　　3. 照度：由于無塵潔凈室的工作內容大多有精細的要求，而且又都是密閉性房子，所以，對照明一向有很高的要求。