凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

設(shè)計人員在設(shè)計時應(yīng)充分考慮潔凈室的特點，嚴(yán)格控制防火分區(qū)，使之達(dá)到規(guī)范要求，我國現(xiàn)行消防技術(shù)規(guī)范已對潔凈室防火分區(qū)提出了明確的要求，規(guī)定甲、乙類生產(chǎn)的潔凈室宜為單層，其防火分區(qū)很大允許建筑面積，單層廠房宜為3000平方米，多層廠房宜為2000平方米；丙、丁、戊類生產(chǎn)的潔凈室其防火分區(qū)很大允許建筑面積應(yīng)符合現(xiàn)行《建筑設(shè)計防火規(guī)范》的規(guī)定。除此以外，我們還應(yīng)特別注意潔凈室的頂棚和壁板、潔凈生產(chǎn)區(qū)與一般生產(chǎn)區(qū)間的隔斷以及技術(shù)豎井等部位的防火處理，要求其必須采用不燃燒體材料，且耐火極限要達(dá)到相應(yīng)技術(shù)規(guī)范的要求。5、GMP江西無塵車間日常需要進(jìn)行消毒滅菌，方法有很多，可以采用干熱滅菌、濕熱滅菌、輻射滅菌、氣體滅菌、消毒劑消毒。

百級潔凈室規(guī)劃裝修參數(shù)規(guī)范：

　　1. 潔凈度：粒徑≥0.1微米的塵土粒子數(shù)量需求小于100個。

　　2. 壓差及溫濕度：溫度22℃±2;濕度55%±5;根本房間要滿布ffu，做高架地板。做MAU ffu DC系統(tǒng)。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度確保在10pa左右。

　　3. 照度：由于無塵潔凈室的工作內(nèi)容大多有精細(xì)的要求，而且又都是密閉性房子，所以，對照明一向有很高的要求。