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發(fā)布時(shí)間:2020-11-13 09:54  
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負(fù)膠:曝光區(qū)域發(fā)生交聯(lián),難溶于顯影液。特性:良好的粘附能力、良好的阻擋作用、感光速度快;顯影時(shí)發(fā)生變形和膨脹,所以只能用于2μm的分辨率。
正膠:正性光刻膠的曝光區(qū)域更加容易溶解于顯影液。特性:分辨率高、臺(tái)階覆蓋好、對(duì)比度好;粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。
目前一般都是用正膠,對(duì)于線(xiàn)寬要求不高的時(shí)候或者一些特殊的用途(比如PSS等)可以選擇負(fù)膠