凈化工程的等級劃分比較的嚴格，一般按照7個等級進行的劃分，分別是1級，10級，100級，1000級，10000級，100000，1000000級，凈化安全要求是根據等級來實施的，凈化工程等級數(shù)越小，級別是越高的，其含塵量越少，排名是靠前的。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。凈化工程在設計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關標準、規(guī)范進行。

濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。凈化工程在設計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關標準、規(guī)范進行。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情，但今天凈化技術發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產品向著好的方向發(fā)展，對凈化車間的依賴度也越來越高。1級：塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降，當金屬塵埃落于集成電路上時，就可能造成短路。當空氣中的酸性離子落在電路上時，可能將電路腐蝕，因此凈化空調系統(tǒng)對微電子工業(yè)而言至關重要。此外，液晶、光纖的生產也需要1級潔凈度的要求。