在高純水的生產過程中，水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術等去除；水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除；水中的細菌，目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導致低擊穿，產生缺陷，還影響材料的少子壽命，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。

超純水是純水的基礎上進一步將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于 18M Ω *cm 或接近 18.25M Ω *cm 極限值。超純水是一般工藝很難達到水平，可以將微濾技術、超濾技術、反滲透技術、 EDI 技術，離子交換技術中的兩種及以上的技術，通過合理的工藝設計，設備選型，方可制造出超純水，電阻率可達 18.20M Ω *cm 3.純水和超純水區(qū)別存在于很多方面

超純水和純水可以具體歸納如下：

A電導率不同，純水電導率在 2-10us/cm 之間，超純水的電導率為 0.056us/cm;

B制造的難易程度不同，目前市場上使用的純水基本上都是經過反滲透、蒸餾等方法制得，而超純水是純水的基礎上還要經過光氧化技術、精處置和拋光處理等一系列復雜的純化技術制得的;

C 重金屬、細菌、微粒數等指標也大不相同，純水雜質含量是 ppm 級，而超純水為 ppb 級，簡單地說超純水中已經沒有什么雜質，接近于理論上的水;

D 使用的領域也不相同;

E 對輸送管道材質的要求也不相同，超純水對輸送管道材質的要求要比純水嚴格的多。

什么水才利于人體健康?怎樣科學飲水?

作為健康水有三個標準：

首先是安全，安全做不好，不要談健康。首先這個水要有毒，有害.

第二，飲用水必須滿足人體需要，水中必須要含適量的礦物質，不是越高越好。水中的物質能夠和身體的血液接近較好。

第三，中國有一個概念，就是這個水具有生命活力，對人體的生理功能有促進作用，就是水有活性。具備了這三個條件就基本具備了健康水的概念。