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黃山氣動(dòng)直線導(dǎo)軌-光波超精密產(chǎn)品齊全-氣動(dòng)直線導(dǎo)軌平臺(tái)

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發(fā)布時(shí)間:2020-12-01 10:06  

光波超精密——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌是利用空氣粘性,將外部壓縮空氣通過(guò)節(jié)流器導(dǎo)入導(dǎo)軌與滑塊間隙中,形成具有超高剛度的氣膜間隙,從而支撐負(fù)載實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。

應(yīng)用行業(yè):電子制造裝備行業(yè)中,黃山氣動(dòng)直線導(dǎo)軌,如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測(cè)量及實(shí)驗(yàn)室測(cè)量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零,永不i磨損,精度延續(xù)性精度持久性高,出廠精度即為永i久精度導(dǎo)軌永不i磨損,氣動(dòng)直線導(dǎo)軌平臺(tái),因此不存在售后問(wèn)題,使用成本不用返廠維修,更不用整套更換。

基準(zhǔn)修正精度永不損失,導(dǎo)軌不用人為修正,補(bǔ)償,高頻雜波信號(hào)干擾測(cè)量精度高。氣膜剛度大,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn),振幅小,且振動(dòng)頻率接近,因此可完全避免和消除在高精度測(cè)量中振動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響,

光波超精密技術(shù)研究院——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌


氣浮導(dǎo)軌,簡(jiǎn)單易行,即利用壓縮空氣使滑塊和導(dǎo)軌座相對(duì)懸浮,實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng),并具有高精度導(dǎo)引。氣浮導(dǎo)軌相位滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)有:1.無(wú)摩擦、磨損小、壽命長(zhǎng)。氣模厚度極i小,且均勻度好,精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒(méi)有關(guān)系,即使在非常低速也不會(huì)產(chǎn)生爬行,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護(hù)、清潔環(huán)保。



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氣浮導(dǎo)軌副由氣浮塊和承導(dǎo)面組成,每個(gè)承導(dǎo)面至少有兩個(gè)氣浮塊,氣浮塊與承導(dǎo)面間隙中氣體壓力 p的分布狀態(tài)能左右氣浮塊的性能。通過(guò)這個(gè)實(shí)驗(yàn)臺(tái)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量得到:供氣量一定時(shí),氣浮塊所受負(fù)荷增大,氣浮厚度減??;當(dāng)負(fù)荷減少時(shí),氣浮厚度增大。

高精度工作臺(tái)常用導(dǎo)軌有滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓力導(dǎo)軌等,滾動(dòng)導(dǎo)軌的使用已有多年歷史,滾動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)微米級(jí),摩擦系數(shù)可降至0.002~0.003。滾動(dòng)式導(dǎo)軌具有滾動(dòng)摩擦阻力小,不存在爬行漂浮現(xiàn)象,但其摩擦系數(shù)大,抗沖擊性能差,運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn),使用壽命低等優(yōu)點(diǎn),在實(shí)際應(yīng)用中還存在不足。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌


機(jī)導(dǎo)是傳動(dòng)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)的基礎(chǔ),也是傳動(dòng)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件之一.由于空氣粘性低,不易爬行、振動(dòng)小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn),因此本試驗(yàn)裝置采用空氣靜壓導(dǎo)軌設(shè)計(jì).空氣靜壓導(dǎo)軌是將具有一定壓力的空氣通過(guò)節(jié)流器送入導(dǎo)軌間隙,通過(guò)靜壓使導(dǎo)軌懸浮起來(lái),在導(dǎo)軌面之間形成一層極薄的氣膜,氣膜厚度基本保持恒定。




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氣浮導(dǎo)軌其優(yōu)點(diǎn)是消音能力好,荷載高,能滿足這兩點(diǎn)要求的直直線導(dǎo)軌產(chǎn)品才算及格產(chǎn)品,單軸氣動(dòng)直線導(dǎo)軌,否則,即使再貴也是名不副實(shí)的產(chǎn)品。也可通過(guò)檢測(cè)導(dǎo)軌的精度,從而判斷導(dǎo)軌的質(zhì)里是否合格,方式多種多樣,但只要是正規(guī)廠家產(chǎn)品,質(zhì)里都有保證。

直線導(dǎo)軌滑塊的端部和側(cè)面均有塑膠件,在安裝時(shí)不能用硬錘工具擊打,在安裝后試車(chē)時(shí),花崗巖氣動(dòng)直線導(dǎo)軌,不允許任何物體撞擊它。如果塑料制品破i裂了,球就會(huì)滾出來(lái),滑塊就會(huì)掉下來(lái)。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——?dú)鈩?dòng)直線導(dǎo)軌

直直線導(dǎo)軌各部件不得隨意拆卸,影響精度和靈活性,不得隨意為直直線導(dǎo)軌加裝不符合要求的滾珠。

不需要時(shí),不可從直直線導(dǎo)軌上卸下滑塊,如必須卸下時(shí),應(yīng)先將輔助直直線導(dǎo)軌對(duì)準(zhǔn),再卸下滑塊。

清洗時(shí)一定要將潤(rùn)滑油干燥后再加潤(rùn)滑油,不能在沒(méi)有潤(rùn)滑油的情況下工作。

據(jù)悉,每年到了濕潤(rùn)多雨的季節(jié),鐵軌銹蝕的頻率尤其高,尤其是沿海地區(qū)。由于導(dǎo)軌油中的硫、磷等抗磨劑在切削液中主要成分為水的作用下被水解,硫、磷等成分嚴(yán)重腐蝕鋼鐵零件。



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