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發(fā)布時間:2020-12-15 05:22  
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濺射鍍膜機濺射鍍技術(shù)優(yōu)點
濺射鍍膜機濺射鍍技術(shù)應(yīng)用 蒸發(fā)和磁控濺射兩用立式裝飾鍍膜機,主要適用于塑料、陶瓷、玻璃金屬材料表面鍍制金屬化裝飾膜。由于鍍膜室為立式容器,所以它具有臥式鍍膜機的一切優(yōu)點, 又利于自重較大的、易碎的鍍件裝卡,更可方便地實現(xiàn)自動生產(chǎn)線,是替代傳統(tǒng)濕法水電鍍的更為理想的新一代真空鍍膜設(shè)備。3)漸變反射膜漸變反射膜是一種在不同角度觀察,反射的顏色不同的膜層。本機鍍部分產(chǎn)品可不做底油。本機主 要特點配用改進型高真空排氣系統(tǒng),抽速快、、節(jié)電、降噪和延長泵使用壽命;實現(xiàn)蒸發(fā)、磁控濺射、自動控制,操作簡單,工作可靠。
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磁控濺射技術(shù)鍍膜
磁控濺射技術(shù)鍍膜是一種重要的物理的氣相沉積鍍膜技術(shù),這種工藝可工業(yè)化批量生產(chǎn)。本文重點探討了磁控濺射在光學(xué)鍍膜中的應(yīng)用,包括膜層設(shè)計和鍍膜工藝。
光學(xué)鍍膜設(shè)計
(1)減反射膜
減反射也稱增透膜,這種膜主要鍍在透明低折射率基底上,如玻璃上鍍減反射膜,常見的膜層結(jié)構(gòu)采用高、低折射率膜層疊加而成
(2)彩色鍍膜 彩色鍍膜主要也是在玻璃等透明基底上鍍膜,其膜層材料和結(jié)構(gòu)類似減反射鍍膜。這種玻璃在可見光下透射和反射的顏色不同。
3)漸變反射膜 漸變反射膜是一種在不同角度觀察,反射的顏色不同的膜層。這種膜層可以鍍在玻璃,也可以鍍在金屬基底。
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磁控濺射鍍膜機工藝
(1)技術(shù)方案 磁控濺射鍍光學(xué)膜,有以下三種技術(shù)路線: (a)陶瓷靶濺射:靶材采用金屬化合物靶材,可以直接沉積各種氧化物或者氮化物,有時候為了得到更高的膜層純度,也需要通入一定量反應(yīng)氣體); (b)反應(yīng)濺射:靶材采用金屬或非金屬靶,通入稀有和反應(yīng)氣體的混合氣體,進行濺射沉積各種化合物膜層。 (c)離子輔助沉積:先沉積一層很薄的金屬或非金屬層,然后再引入反應(yīng)氣體離子源,將膜層進行氧化或者氮化等。而在高電壓和高氣壓下,盡管可以產(chǎn)生較多的離子,但飛向基片的電子攜帶的能量高,容易使基片發(fā)熱甚至發(fā)生二次濺射,影響制膜質(zhì)量。 采用以上三種技術(shù)方案,在濺射沉積光學(xué)膜時,都會存在靶zhong毒現(xiàn)象,從而導(dǎo)致膜層沉積速度非常慢,對于上節(jié)介紹各種光學(xué)膜來說,膜層厚度較厚,膜層總厚度可達數(shù)百納米。這種沉積速度顯然增加了鍍膜成本,從而限制了磁控濺射鍍膜在光學(xué)上的應(yīng)用。
(2)新型反應(yīng)濺射技術(shù) 筆者對現(xiàn)有反應(yīng)濺射技術(shù)方案進行了改進,開發(fā)出新的反應(yīng)濺射技術(shù),解決了鍍膜沉積速度問題,同時膜層的純度達到光學(xué)級別要求。表2.1是采用新型反應(yīng)濺射沉積技術(shù),膜層沉積速度對比情況。
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