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發(fā)布時(shí)間:2020-12-04 15:37  
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具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。根據(jù)不同藥品檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室的條件和要求,檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的通風(fēng)系統(tǒng)常采用驚訝傳感自動(dòng)變頻控制(或PLC編程控制)和變風(fēng)量系統(tǒng)(VAV)控制方式兩種方式,使實(shí)驗(yàn)室內(nèi)空氣達(dá)到標(biāo)準(zhǔn),為藥品檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室工作人員提供舒適、順暢、便捷的工作環(huán)境。
空氣分子控制主要應(yīng)對(duì)空氣分子污染(AMC),這類污染的控制要比粒子污染困難許多。說(shuō)到粒子污染的控制,先要確定粒子的粒徑與個(gè)數(shù),然后才能進(jìn)行相應(yīng)的設(shè)計(jì)。只是對(duì)于空氣分子污染,需要控制的除了芯片線寬外,還有工藝、設(shè)備、材料與傳送系統(tǒng)等,所以這類污染的控制一直就是業(yè)界的難題??傮w上來(lái)說(shuō),正是因?yàn)楹茈y有效控制空氣分子污染,致使該問(wèn)題成為了影響相關(guān)產(chǎn)品成品率的重要問(wèn)題。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。
在實(shí)驗(yàn)室這種專業(yè)性極高的場(chǎng)合,外觀反而是其次的要求。同時(shí),實(shí)驗(yàn)室的裝修也不會(huì)去強(qiáng)調(diào)美觀時(shí)尚或者溫馨的效果,而是要顯示出專業(yè)化的特點(diǎn)??梢赃x擇純色PVC地板或者是仿石材的PVC地板,外觀效果都比較合適。對(duì)于實(shí)驗(yàn)室地坪的施工,也有大部分的實(shí)驗(yàn)室采用防腐環(huán)氧地坪。環(huán)氧防腐地坪既能應(yīng)對(duì)高強(qiáng)度的叉車作業(yè),而且具有很強(qiáng)的抗化學(xué)腐蝕性,滿足實(shí)驗(yàn)室中的特殊要求。門(mén)與門(mén)之間的間隙是密封的,在門(mén)葉頻繁開(kāi)啟和關(guān)閉的情況下,除一些外門(mén)碰撞外,門(mén)葉上可以完全設(shè)置密封條,以避免重型設(shè)備等的碰撞,彈性密封條的小部分應(yīng)鋪設(shè)在門(mén)的隱蔽槽中,門(mén)葉的關(guān)閉和按壓應(yīng)通過(guò)腳踏或敲擊以及行人和運(yùn)輸?shù)挠绊戇M(jìn)行。
密封結(jié)構(gòu)的所有安裝間隙必須用硅膠密封。密封膠應(yīng)是直和光滑的,沒(méi)有中斷,暴露和毛刺。涂膠環(huán)境溫度應(yīng)在0℃以上。門(mén)與門(mén)之間的間隙是密封的,在門(mén)葉頻繁開(kāi)啟和關(guān)閉的情況下,除一些外門(mén)碰撞外,門(mén)葉上可以完全設(shè)置密封條,以避免重型設(shè)備等的碰撞,彈性密封條的小部分應(yīng)鋪設(shè)在門(mén)的隱蔽槽中,門(mén)葉的關(guān)閉和按壓應(yīng)通過(guò)腳踏或敲擊以及行人和運(yùn)輸?shù)挠绊戇M(jìn)行。密封條應(yīng)沿活動(dòng)間隙周邊連續(xù)鋪設(shè),使門(mén)關(guān)閉后形成一圈密封齒形密封線。為了避免電壓瞬變、瞬時(shí)停電、電壓不足等現(xiàn)象,可以根據(jù)需求選用不間斷電源(UPS)。