控制系統(tǒng)是利用壓縮氣體作為動(dòng)力源,在數(shù)據(jù)采集卡和自行設(shè)計(jì)的壓電驅(qū)動(dòng)式電氣比例閥的閉環(huán)控制下,通過(guò)光柵尺和力傳感器的反饋,實(shí)現(xiàn)氣壓缸的快速驅(qū)動(dòng)與準(zhǔn)確定位，精度可達(dá)到 0. 001 mm。壓電陶瓷與典型的不包含鐵電成分的壓英晶體的主要區(qū)別是： 構(gòu)成其主要成分的晶相都是具有鐵電性的晶粒. 具有正壓電效應(yīng)的固體，也必定具有逆壓電效應(yīng)，反之亦然. 正壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)總稱為壓電效應(yīng)。

 常規(guī)的電氣比例閥無(wú)法實(shí)現(xiàn)精密控制,利用壓電疊堆作為動(dòng)力源,研究制作了一種新的電器比例閥,即壓電式電氣比例閥。由于在影響壓電疊堆位移精度的特性中，滯環(huán)特性對(duì)其影響，對(duì)壓電疊堆( Tokin AE0505D16)不同路徑的加壓過(guò)程進(jìn)行大量數(shù)據(jù)的實(shí)測(cè)分析，了解在0~ 100V這一區(qū)間內(nèi)的滯環(huán)特性。正壓電性是指某些電介質(zhì)在機(jī)械外力作用下,介質(zhì)內(nèi)部正負(fù)電荷中心發(fā)生相對(duì)位移而引起極化, 從而導(dǎo)致電介質(zhì)兩端表面內(nèi)出現(xiàn)符號(hào)相反的束縛電荷。

 壓電疊堆具有承載力大、響應(yīng)快、位移可重復(fù)性好、體積以及電場(chǎng)控制相對(duì)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。諧振位移驅(qū)動(dòng)器是利用壓電體在諧振狀態(tài)下大的位移變形來(lái)形成驅(qū)動(dòng)能力的。經(jīng)過(guò)極化處理后的壓電陶瓷，在電場(chǎng)取消之后，會(huì)保留一定的宏觀剩余極化強(qiáng)度，從而使陶瓷具有了一定的壓電性質(zhì)。壓電陶瓷特性是具有壓電性, 包括正壓電性和逆壓電性。由于在影響壓電疊堆位移精度的特性中，滯環(huán)特性對(duì)其影響，對(duì)壓電疊堆( Tokin AE0505D16)不同路徑的加壓過(guò)程進(jìn)行大量數(shù)據(jù)的實(shí)測(cè)分析，了解在0~ 100V這一區(qū)間內(nèi)的滯環(huán)特性。