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NR27 25000P光刻膠廠家-北京賽米萊德

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發(fā)布時(shí)間:2022-06-11 05:10  





光刻膠國(guó)內(nèi)的研發(fā)起步較晚

光刻膠的研發(fā),關(guān)鍵在于其成分復(fù)雜、工藝技術(shù)難以掌握。光刻膠主要成分有高分子樹脂、色漿、單體、感光引發(fā)劑、溶劑以及添加劑,NR27 25000P光刻膠廠家,開發(fā)所涉及的技術(shù)難題眾多,需從低聚物結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和篩選、合成工藝的確定和優(yōu)化、活性單體的篩選和控制、色漿細(xì)度控制和穩(wěn)定、產(chǎn)品配方設(shè)計(jì)和優(yōu)化、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝優(yōu)化和穩(wěn)定、終使用條件匹配和寬容度調(diào)整等方面進(jìn)行調(diào)整。因此,要自主研發(fā)生產(chǎn),技術(shù)難度非常之高。

在光刻膠研發(fā)上,我國(guó)起步晚,2000年后才開始重視。近幾年,雖說(shuō)有了快速發(fā)展,但整體還處于起步階段。事實(shí)上,工藝技術(shù)水平與國(guó)外企業(yè)有著很大的差距,尤其是材料及設(shè)備都仍依賴進(jìn)口。


美國(guó)Futurrex光刻膠

北京賽米萊德貿(mào)易有限公司供應(yīng)美國(guó)Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,此款負(fù)膠的設(shè)計(jì)適用于比較寬的波長(zhǎng)范圍和i線(366納米)曝光工具。當(dāng)顯影后顯示出負(fù)的側(cè)壁角度,NR27 25000P光刻膠哪家好,是lift-off工藝中比較簡(jiǎn)易的光刻膠。和其他膠相比NR9i-3000PY有下面的優(yōu)勢(shì): 1. 比較高的光刻速度,可以定制光刻速度來(lái)曝光產(chǎn)量 2. 比較高的分辨率和快的顯影時(shí)間 3. 根據(jù)曝光能量可以比較容易的調(diào)整側(cè)壁角度 4. 耐溫可以達(dá)到100攝氏度 5. 用RR5去膠液可以很容易的去膠 NR9-3000PY的制作和工藝是根據(jù)職業(yè)和環(huán)境的安全而設(shè)計(jì)。主要的溶劑是,NR9-3000PY的顯影在水溶液里完成。屬固含量(%):31-35 主要溶劑: 外觀: 淺液體涂敷能:均勻的無(wú)條紋涂敷 100攝氏度熱板烘烤300秒后膜厚涂敷自旋速度 40秒自旋。

 


光刻膠底膜處理:清洗:清潔干燥,NR27 25000P光刻膠哪里有,使硅片與光刻膠良好的接觸。烘干:去除襯底表面的水汽,使其干燥,增粘處理(涂底) 涂上增加光刻膠與硅片表面附著能力的化合物,HMDS,NR27 25000P光刻膠,光刻膠疏水,Sio2 空氣中,Si-OH, 表面有,親水性,使用HMDS H2C6Si2NH 涂覆,熏蒸  SI –OH結(jié)合形成Si-O-Si(CH2)2,與光刻膠相親。


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