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發(fā)布時(shí)間:2020-11-20 02:09  






離子束刻蝕機(jī)

離子束分析具有一定能量的離子與物質(zhì)相互作用會(huì)使其發(fā)射電子、光子、X射線等,還可能發(fā)生彈性散射、非彈性散射以及核反應(yīng),產(chǎn)生反彈離子、反沖核、γ射線、氫核、氚核、粒子等核反應(yīng)產(chǎn)物,聚焦離子束刻蝕機(jī)品牌,可以提供有關(guān)該物質(zhì)的組分、結(jié)構(gòu)和狀態(tài)等信息。利用這些信息來(lái)分析樣品統(tǒng)稱(chēng)離子束分析。在離子束分析方法中,比較成熟的有背散射分析X射線熒光分析、核反應(yīng)分析和溝道效應(yīng)(見(jiàn)溝道效應(yīng)和阻塞效應(yīng))與其他分析相結(jié)合的分析方法等。此外,聚焦離子束刻蝕機(jī),利用低能離子束還可作表面成分分析,如離子散射譜(ZSS)、次級(jí)離子質(zhì)譜(SZMS)等。超靈敏質(zhì)譜(質(zhì)譜)、帶電粒子活化分析、離子激發(fā)光譜、離子激發(fā)俄歇電子譜等正在發(fā)展中。用于離子束分析的MV級(jí)已有專(zhuān)門(mén)的商業(yè)化設(shè)備。










離子束刻蝕機(jī)

離子束刻蝕是利用離子束直接轟擊工件,聚焦離子束刻蝕機(jī)報(bào)價(jià),將工件上的材料濺射出來(lái),實(shí)現(xiàn)材料去除的目的。離子束刻蝕是純物理刻蝕過(guò)程,在各種常規(guī)刻蝕方法中具有分辨率較高、陡直性較好的特點(diǎn)。應(yīng)用于在基板表面拋光或材料的去除,尤其適用于金屬材料薄膜的刻蝕,聚焦離子束刻蝕機(jī)多少錢(qián),如Cu、Au、Pt、Ti、Ni、niCr等。

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刻蝕機(jī)

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刻蝕機(jī)是基于真空中的高頻激勵(lì)而產(chǎn)生的輝光放電將四氟化碳中的氟離子電離出來(lái)從而獲得化學(xué)活性微粒與被刻蝕材料起化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生輝發(fā)性物質(zhì)進(jìn)行刻蝕的。同時(shí)為了保證氟離子的濃度和刻蝕速度必須加入一定比例的氧氣生成二氧化碳。   

刻蝕機(jī)主要對(duì)太陽(yáng)能電池片周邊的P—N結(jié)進(jìn)行刻蝕,使太陽(yáng)能電池片周邊呈開(kāi)路狀態(tài)。也可用于半導(dǎo)體工藝中多晶硅,氮化硅的刻蝕和去膠。










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