氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

收集極是對(duì)準(zhǔn)出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個(gè)電阻輸入到小電流放大器進(jìn)行離子流的放大和測(cè)量。由于氦離子流一般只有10-13?10-12A，要使小電流放大器diyi極輸入信號(hào)電壓夠大，則輸入電阻必需很大。diyi級(jí)放大用的靜電計(jì)管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電許管放在高真空的質(zhì)譜室中。

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)

氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)一般包括：

1、主泵：一般用護(hù)散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-4Pa，其抽速應(yīng)導(dǎo)氣載匹配。

2、前級(jí)真空泵：一般采用旋片式機(jī)械真空泵，在以分子泵為主泵的系統(tǒng)中也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速導(dǎo)主泵匹配。

3、預(yù)抽真空泵：一般與前級(jí)真空泵共用一個(gè)泵，也有預(yù)抽真空泵的。預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機(jī)械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。

4、冷阱：分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。護(hù)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間，使三者被冷阱隔離。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜室正常工作所需要的真空條件，不同型號(hào)的氦質(zhì)譜檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。

1、檢漏閥：接在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。有些氦質(zhì)譜檢漏儀采用節(jié)流閥，控制流入質(zhì)譜室的氣體流量。

2、真空規(guī)：一般采用冷陰極磁控放電直空規(guī)(潘寧規(guī)，又稱冷規(guī))來測(cè)量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測(cè)量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級(jí)壓力的。

3、標(biāo)準(zhǔn)漏孔：一般氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔(大多為薄膜滲氦型)，用它來校準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀的Z小可檢漏率和對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用行業(yè)

單晶硅 ，多晶硅，非晶硅磁性材料，真空爐 ，鍍膜機(jī)，互感器，避雷器，C-GIS組合電器，電力開關(guān)，真空滅弧室，高真空閥門 ，LED外延片，出口滅火器，X射線管，石化換熱器，磁流體，密封繼電器，氣體流量計(jì) ，隔膜壓力變送器 ，氣體發(fā)生器  ，ITO鍍膜玻璃 ，LOW-E玻璃  ，壓力容器  ，化工容器，低溫儲(chǔ)罐  ，LNG 低溫氣瓶 ，玻璃燒結(jié)件，陶瓷密封連接器 ，陶瓷燒結(jié)件 ，TO封裝 ，高真空排氣臺(tái)，真空凍干機(jī) ，光器件，石英晶體諧振器，高壓開關(guān)，換熱器，電真空器件，SF6管路，波紋管，ITO設(shè)備，半導(dǎo)體，輻照電線電纜 交聯(lián)電線電纜，真空釬焊，真空熱處理等。