根據(jù)加工方法的機理和特點，精密和超精密加工方法，可以分為去除加工、結(jié)合加工和變形加工三大類。

（1）去除加工。又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，傳統(tǒng)的機械加工方法，如車削、銑削、磨削、研磨和拋光等，以及特種加工中的電火花加工、電解加工等，均屬這種加工方法。

（2）結(jié)合加工。利用物理和化學(xué)方法，將不同材料結(jié)合(bonding)在一起。按結(jié)合的機理、方法、強弱等，它又分為附著、注入(injection)和連接(jointed)三種。

（3）變形加工。又稱為流動加工，利用力、熱、分子運動等手段，使工件產(chǎn)生變形，改變其尺寸、形狀和性能。

電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數(shù)。

模塊化設(shè)計、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測量。

它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。

由于超精密加工的精度等級和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應(yīng)的檢測手段，才能驗證工件是否達到了相應(yīng)的技術(shù)要求。在精密超精密加工和測量中，對測量技術(shù)提出了更為嚴格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數(shù)量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準確度和高可靠性的方向發(fā)展。另外還有環(huán)境介質(zhì)檢測、電機轉(zhuǎn)速測量、鋼管直徑測量、光盤平面度檢測、磁盤動平衡測量、金屬線膨脹系數(shù)測量等。公司發(fā)展了分辨率均可以達到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。