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發(fā)布時間:2021-09-13 21:40  
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硅片模具加工如何選擇光刻膠呢?
注意事項(xiàng):
①若腐蝕液為堿性,則不宜用正性光刻膠;
②看光刻機(jī)型式,若是投影方式,用常規(guī)負(fù)膠時氮?dú)猸h(huán)境可能會有些問題
③負(fù)性膠價格成本低,正性膠較貴;
④工藝方面:負(fù)性膠能很好地獲得單根線,而正性膠可獲得孤立的洞和槽;
⑤健康方面:負(fù)性膠為有機(jī)溶液處理,不利于環(huán)境;正性膠屬于水溶液,對健康、環(huán)境無害。
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光刻膠的作用有什么?
光刻是將圖形由掩膜版上轉(zhuǎn)移到硅片上,為后續(xù)的刻蝕步驟作準(zhǔn)備。在光刻過程中,需在硅片上涂一層光刻膠,經(jīng)紫外線曝光后,光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,在通過顯影后,被曝光的光刻膠將被去除,從而實(shí)現(xiàn)將電路圖形由掩膜版轉(zhuǎn)移到光刻膠上。再經(jīng)過刻蝕過程,實(shí)現(xiàn)電路圖形由光刻膠轉(zhuǎn)移到硅片上。在刻蝕過程中,光刻膠起防腐蝕的保護(hù)作用。
光刻膠的應(yīng)用
光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一,特別是近年來大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,更是大大促進(jìn)了光刻膠的研究開發(fā)和應(yīng)用。印刷工業(yè)是光刻膠應(yīng)用的另一重要領(lǐng)域。
期望大家在選購光刻膠時多一份細(xì)心,少一份浮躁,不要錯過細(xì)節(jié)疑問。想要了解更多光刻膠的相關(guān)資訊,歡迎撥打圖片上的熱線電話?。?!